6寸碳化硅高溫氧化爐管設(shè)備
功能
技術(shù)參數(shù)
Bhadra?立式高溫氧化爐HBO150
功能
1.高溫氧化工藝
2.DCE清洗去除可動離子作用和中高溫退火工藝
或電話聯(lián)系：
86-18924169069 / 020-31569374
技術(shù)參數(shù)
適配晶圓尺寸：4，6寸
適用襯底材料：碳化硅
適用領(lǐng)域：功率半導(dǎo)體、襯底材料、科研
